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循環過濾系統是一種過濾超聲波清洗槽所使用的清洗劑的裝置。循環過濾器可以去除從被清洗部件中去除的金屬碎屑和細粉、燃燒的碳或其他顆粒殘留物。循環過濾系統可以延長所用清洗液的整體使用壽命，減少污染物在清洗液中重新沉積到零件上的可能性，并減少對超聲波清洗機槽的維護。循環過濾器可去除清洗液中的顆粒，從而延長使用時間并減少對清洗槽的維護。循環過濾超聲波清洗機必須經過合適設計才能有效地工作。必須注意減少超聲波清洗機槽中過濾系統產生的液體流動，以盡量避免因液體流動而造成消除超聲波清洗能力。因此，超聲波清洗機的過濾系統通常僅在部件未清洗時才運行。清洗后運行也會照成液體中的空氣增加從而削弱超聲波清洗能力。

超聲脫氣法，隨著超聲波清洗機的普及，已經廣泛為實驗室所采用；在液相中，也常用此方法進行脫氣處理。采用超聲脫氣法，需要用適合體積的燒杯、三角瓶等裝純水置入超聲槽中進行脫氣處理，等待時間相對較長。此外脫氣量的多少容易受超聲波清洗機超聲槽的大小限制。