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超聲波清洗是半導體工業中廣泛應用的一種清洗方法。超聲波清洗的原理是超聲波的空化效應。空化是超聲波在液體中的一種物理現象，所謂超聲空化，是指在聲場作用下液體中的微氣泡（空化核）直徑約50～500μm，隨超聲波的振動反復生成，閉合并迅速變大，閉合時會產生壓強高達幾百甚至幾千帕的微激波，因劇烈碰撞導致突然爆裂并使氣泡周圍產生千萬個大氣壓力，這種現象叫超聲的空化現象?？栈a生的沖擊氣泡爆破時產生的沖擊壓力能夠擊碎剝離污染物；還可以使工件表面的有機物迅速分散和乳化，這就是我們常說的：超聲波分散作用和超聲波乳化作用。

除了超聲波的空化效應為，對清洗起作用的還有輻射壓和聲流。輻射壓是大振幅聲波在介質中傳播時對阻擋物體產生的壓力，聲流則是由聲場的存在而引起的介質的流動。這兩者都能夠起到攪拌作用。超聲波清洗具有清洗速度快，質量高，不受清洗零件表面復雜形狀的限制，易與實現遙控和自動化清洗等優點。但是它也存在一些缺點。

例如：

1.超聲波清洗時采用乙醇，丙酮，三氯乙烯等有機溶劑，這些溶劑輔助超聲波清洗的去污能力很強，但易揮發，易燃等缺點，在使用過程中需要避免采用易燃，易爆等危險化學品作用清洗液；

2.超聲波清洗主要用在切磨后除去大顆粒污染物，隨著污染物顆粒尺寸的減?。ㄈ缧∮?μm的顆粒）清洗效果下降，為了增加超聲波清洗效果，有時在清洗液中加入表面活性劑，這就需要增加漂洗工藝以避免有機物的殘留，同時由于聲能的作用可能會對硅片造成損傷，特別是有暗紋裂縫的硅片。

為了滿足客戶的需求，我們提供以下多種類型的超聲波清洗機：

? 臺式超聲波清洗機    

? 工業超聲波清洗設備

? 浸入式超聲波振盒

? 超聲波換能器

? 超聲波發生器